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德国Freiberg Instruments全自动晶体定向仪XRD在第三代半导体晶圆和涡轮叶片检测中的应用

发布日期:2018/11/6 13:26:50


Omega/Theta 全自动晶体定向仪XRD


德国Freiberg Instruments公司Omega/Theta 全自动晶体定向仪系列XRD产品针对半导体晶体材料和光学材料生产研发,采用先进的Omega扫描方法测定晶体结构并检测单晶取向,德国博世公司的石英振荡器晶体产量因为这个设备这个技术从55%直接提升至95%。以前是德国EFG公司产品,2015年EFG公司被德国Freiberg Instruments公司收购。



Omega/Theta 全自动晶体定向仪XRD可集成至全自动生产线中,是全球领先的可测大直径的全自动晶圆和铸锭定向检测、分拣设备。可测材料类型有Si、Ge、SiC、GaN、Al2O3(蓝宝石)、石英、AlN、GaAs、LiNbO3、BBO、高温涡轮叶片等 200多种半导体、光学、电子、高温合金等单晶晶体,可测整块晶体取向和摇摆曲线mapping(独家),直径最大可到590mm(可根据需求定制不同检测尺寸),检测精度高(0.003°),可快速测定摇摆曲线检测晶体质量。检测速度快(5s/试样),制样简便,可集成至全自动化生产线中,快速晶体质量检测分拣(日处理量最高可达6000片),极大程度上提高产量和质量。除此之外,公司还有针对小型试样研发测试用的桌面型DDCOM 晶体定向仪XRD和SDCOM 晶体定向仪XRD可供选择。


DDCOM                                                                    SDCOM



Omega/Theta 全自动晶体定向仪XRD在欧美等国家晶体生产研发巨头企业广泛使用,如德国Si Crystal公司用于SiC晶体生产研发、德国Siltronic AG用于Si、SiC晶体生产研发、英国Gooch and Housego用于光学晶体生产研发、美国IPG Photonics公司用于光学晶体生产研发、美国II-VI Advanced Materials公司用于SiC晶体生产研发、美国Crystal IS 公司用于SiC生产研发、美国Crystal Photonics公司用于光学晶体研发等、波兰热舒夫理工大学用于单晶涡轮叶片生产研发。



Omega/Theta 全自动晶体定向仪XRD在国内已有200多家客户,如蓝思科技用于蓝宝石晶体生产研发、四联集团用于蓝宝石晶体生产研发、协鑫集团用于蓝宝石晶体生产研发、广东惠伦晶体用于石英晶体生产研发,中电五十四所时频事业部用于石英晶体研发等。



Omega/Theta 全自动晶体定向仪XRD


应用实例


1.蓝宝石摇摆曲线mapping测量:窄反射峰=表面质量好




2.SiC摇摆曲线mapping测量:宽反射峰=晶体表面局部干扰



硅片检测



硅片检测显示图



3.单晶涡轮叶片晶体曲线3Dmapping检测图:



α方向:

β方向:

γ方向:

涡轮叶片样品检测


涡轮叶片3D模型创建


涡轮叶片3D取向绘图


锘海半导体为德国Freiberg Instruments公司晶体定向仪系列XRD全国代理,为客户提供完整全自动晶体定向仪XRD销售和技术支持服务。

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